真空鍍膜機(jī)多片式比較片裝置的設(shè)計(jì)特點(diǎn)
　1)固定筒3 圓筒形狀、大直徑、厚壁結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)和周向?qū)ΨQ的固定方式，可保證其有足夠的強(qiáng)度和剛度，同時(shí)，還可阻止高溫濺射磨料對(duì)其內(nèi)部零部件污染，保證撥動(dòng)盤(pán)15 轉(zhuǎn)動(dòng)的靈活性。
　2)圓形軸承座2 的設(shè)計(jì)，保證軸承座安裝的密封性和垂直度；增大軸1 的直徑尺寸，加大軸承座2 中兩軸承的安裝間距，提高其自身的強(qiáng)度和剛度，保證轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中軸1 的剛度和撥動(dòng)盤(pán)15的旋轉(zhuǎn)靈活性、位置重復(fù)的一致性。
　3)裝載換位機(jī)構(gòu)，通過(guò)擴(kuò)大支承盤(pán)16 的直徑，使該機(jī)構(gòu)在平面方向的有效面積增大，可安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片，有利于光路調(diào)整，提高光學(xué)薄膜質(zhì)量；比較片12 由單片玻璃作為一個(gè)比較片單元，比較片采用空間立體疊加安裝方式，多片玻璃疊加安裝在一個(gè)比較片存儲(chǔ)筒13 內(nèi)，實(shí)現(xiàn)一次可放置50~100 片比較片，解決鍍膜機(jī)鍍制多層精密光學(xué)薄膜，比較片數(shù)量少影響鍍膜層數(shù)和精度的問(wèn)題。
　4)定位盤(pán)6 與槽型光藕17 的配合，通過(guò)槽型光藕來(lái)感知定位盤(pán)上三個(gè)均分的120°狹縫，控制電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)停止。軸1 旋轉(zhuǎn)定位重復(fù)的一致性得到保證，帶動(dòng)撥動(dòng)盤(pán)15 完成準(zhǔn)確的撥片動(dòng)作。
　5) 轉(zhuǎn)動(dòng)密封饋入機(jī)構(gòu)引入威爾遜密封機(jī)構(gòu)5，既保證電機(jī)9 通過(guò)齒輪嚙合帶動(dòng)軸1 的靈活轉(zhuǎn)動(dòng)，又保證真空室對(duì)外部的密封作用。優(yōu)化設(shè)計(jì)的真空鍍膜機(jī)多片式比較片裝置，其特點(diǎn)：(1)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，強(qiáng)度高，可靠性好；(2)比較片裝載數(shù)量大，生產(chǎn)效率提高，可鍍制超多層精密光學(xué)薄膜；(3)比較片直徑增大，提高薄膜監(jiān)控的精度，降低對(duì)硬件系統(tǒng)的要求，系統(tǒng)容易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制；(4)維護(hù)保養(yǎng)費(fèi)用低。
　通過(guò)對(duì)真空鍍膜機(jī)多片式比較片裝置的優(yōu)化設(shè)計(jì)，保證了比較片機(jī)構(gòu)撥片轉(zhuǎn)動(dòng)的靈活性和重復(fù)的一致性，解決了比較片有效面積小，光路調(diào)整不方便，光信號(hào)信噪比差的問(wèn)題，又解決了比較片裝載數(shù)量少的問(wèn)題，可以使現(xiàn)有的真空鍍膜機(jī)鍍制光學(xué)薄膜的質(zhì)量大大提高，并且30 層以上的光學(xué)薄膜得以鍍制完成。實(shí)踐證明此比較片結(jié)構(gòu)是有用的，可以在現(xiàn)代的光學(xué)真空鍍膜行業(yè)進(jìn)行推廣和實(shí)施，