在真空環(huán)境中，將材料加熱并鍍到基片上的技術(shù)為真空蒸鍍。具體而言，真空蒸鍍是將待成膜的物質(zhì)置于真空中進(jìn)行蒸發(fā)或升華，使之在工件或基片表面析出的過(guò)程。真空蒸鍍中的鍍層通常為鋁膜，但其它鍍層也可通過(guò)蒸發(fā)沉積形成。然而，現(xiàn)有的鍍膜機(jī)結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜且成本較高，無(wú)法充分適應(yīng)工業(yè)化生產(chǎn)的需求，不利于降低鍍膜產(chǎn)品的成本。
提供一種手套箱蒸鍍一體機(jī)，本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測(cè)。
蒸發(fā)鍍膜與手套箱組合，實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、測(cè)試等工藝全封閉制作，使整個(gè)薄膜生長(zhǎng)和器件制備過(guò)程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中，消除有機(jī)大面積電路制備過(guò)程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響，保障了高性能、大面積有機(jī)光電器件和電路的制備。
有益效果是：生產(chǎn)效率高、有利于降低鍍膜產(chǎn)品的成本。
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