CCZK-ION多弧離子PVD鍍膜設(shè)備
特征描述：
馳誠CCZK-ION多弧離子鍍是在真空蒸發(fā)鍍和濺射鍍膜的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種鍍膜技術(shù)，將各種氣體放電方式引入到氣相沉積領(lǐng)域，整個(gè)氣相沉積過程都是在等離子體中進(jìn)行的。
全SUS304優(yōu)質(zhì)不銹鋼機(jī)身，隱藏式雙層冷卻水套設(shè)計(jì)
合理配備多套全新研制的離子弧源，有效保障弧源濺射的穩(wěn)定性與均勻性
采用多路進(jìn)氣系統(tǒng)，精準(zhǔn)控制氣體流量，滿足您多種化合物膜層需求。
裝載大功率脈沖偏壓電源，極大提高電粒子能量，從而獲得優(yōu)秀的膜層結(jié)合力和光潔度
采用馳誠創(chuàng)新工藝制造，精益求精，全面通過歐盟CE和ISO質(zhì)量管理體系認(rèn)證；
技術(shù)配置
CCZK-ION多弧離子PVD鍍膜設(shè)備
腔體結(jié)構(gòu)： 立式前開門，臥式前開門，后置真空獲得系統(tǒng)
材質(zhì)用料： 腔體采用優(yōu)質(zhì)SUS304不銹鋼材質(zhì)
離子弧源： 依據(jù)設(shè)備大小不同配備多套弧電源系統(tǒng)
偏壓電源： 配備大功率單級脈沖偏壓電源
多弧靶材： 標(biāo)配多套鈦靶或不銹鋼靶材
轉(zhuǎn)動系統(tǒng)： 變頻調(diào)速，公自轉(zhuǎn)結(jié)合，可采用上傳動或下傳動方式
真空系統(tǒng)（裝飾鍍膜設(shè)備Decorative coating）：擴(kuò)散泵（可選分子泵）+羅茨泵+機(jī)械泵+維持泵+深冷系統(tǒng)（可選）
真空系統(tǒng)（超硬質(zhì)工具鍍膜Tooling coating）：分子泵+羅茨泵+直聯(lián)泵（進(jìn)口）+維持泵+可選深冷泵
氣體控制： 多路氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
加熱系統(tǒng)： 裝飾鍍膜350℃溫控PID可調(diào)可控制， 超硬質(zhì)工具鍍膜550℃溫控PID可調(diào)可控。
智能控制： PLC智能控制+HMI全彩人機(jī)觸控界面，實(shí)現(xiàn)邏輯全自動控制
報(bào)警及保護(hù)：異常情況進(jìn)行報(bào)警，并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施。
其他技術(shù)參數(shù)：
極限真空： 5.0×10-4Pa
抽氣速率： 5.0*10-2≤5min
水壓流速≥0.2Mpa 3m3/h；水溫≤25℃；氣壓：0.4-0.8Mpa；
備注：
一般規(guī)格：
Φ1000*H1200，Φ1400mm*H1600mm,Φ1200mm*H1500mm，
Φ1800mm*H2000mm, Φ2000mm*H2200mm
真空室尺寸或設(shè)備配置可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做
應(yīng)用
利用馳誠CCZK-ION離子鍍設(shè)備可以在金屬，玻璃，陶瓷等材料表面進(jìn)行鍍膜。普通裝飾鍍膜設(shè)備廣泛適用于不銹鋼展架，不銹鋼散件，門花，花灑，把手，水暖五金、鐘表、潔具、餐具、水龍頭、金屬打水機(jī)、手機(jī)金屬殼、玻璃水晶裝飾品、玻璃管等鍍膜
超硬質(zhì)工具鍍膜設(shè)備可應(yīng)用于鉆頭，絲錐，高速刀片，耐磨軸承等功能鍍膜，可以大大提高產(chǎn)品使用壽命和使用效率
常用膜系包括TiN、ZrN、TiAlN、TiC、TiCN、CrN、Al2O3等
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樣品圖
