為盡量減小真空鍍膜機(jī)真空室形變帶來(lái)的影響，我們將導(dǎo)軌、絲桿等傳動(dòng)件固定于一個(gè)剛性的中間層上，其與真空室底壁之間采用點(diǎn)、線、面活性支撐，以吸收和隔離形變，并設(shè)置形變補(bǔ)償調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，在系統(tǒng)抽真空前，參照有限元計(jì)算提供的理論數(shù)據(jù)預(yù)設(shè)適當(dāng)?shù)难a(bǔ)償量，以使其在真空狀態(tài)下達(dá)到平衡。
為了驗(yàn)證有限元計(jì)算的結(jié)果，對(duì)真空室的形變和補(bǔ)償進(jìn)行了測(cè)試。第一步，將四只千分表定位在工作臺(tái)安裝基點(diǎn)的真空壁外側(cè)，當(dāng)真空室由大氣抽到真空時(shí)，記錄各千分表的變化量，經(jīng)歸一化處理后為用激光自準(zhǔn)直儀調(diào)整形變補(bǔ)償。
由水平調(diào)整的自準(zhǔn)直儀發(fā)出一束激光穿過(guò)真空室的玻璃窗照射固定于工作臺(tái)上的反射鏡，在大氣環(huán)境下調(diào)整形變補(bǔ)償調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，使反射光束進(jìn)入自準(zhǔn)直儀接收視場(chǎng)，記錄兩維角度偏差。
按有限元計(jì)算（或第一步測(cè)量）的真空狀態(tài)下的補(bǔ)償量再次調(diào)整，顯然，此時(shí)的反射光束已遠(yuǎn)離自準(zhǔn)直儀接收視場(chǎng)，但一旦真空室進(jìn)入真空狀態(tài)，反射光束又重新進(jìn)入自準(zhǔn)直儀的接收視場(chǎng)，記錄此時(shí)的兩維角度偏差。前后兩次顯示的兩維角度偏差基本吻合。
工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)副的潤(rùn)滑及對(duì)真空環(huán)境的影響工作臺(tái)的掃描是處于真空室環(huán)境下的頻繁運(yùn)動(dòng)，除用滾動(dòng)代替滑動(dòng)來(lái)降低摩擦系數(shù)外，在導(dǎo)軌、絲桿等運(yùn)動(dòng)副之間采取良好的潤(rùn)滑是保證刻蝕裝置長(zhǎng)時(shí)間正常運(yùn)行的必要條件。
真空中的潤(rùn)滑的方式通常有鍍固體潤(rùn)滑膜和直接使用潤(rùn)滑劑等鍍膜容易破壞導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)精度，且工藝復(fù)雜。
為此，我們測(cè)試了一種市場(chǎng)商品――二硫化鉬潤(rùn)滑劑的潤(rùn)滑效果，將該潤(rùn)滑劑直接噴涂在運(yùn)動(dòng)副表面，并用四極質(zhì)譜儀分析了該潤(rùn)滑劑在真空中揮發(fā)出的氣體的主要成分。
