本發(fā)明涉及一種真空鍍膜機。
背景技術：
真空鍍膜機一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來，并且沉降在基片表面，通過成膜過程形成薄膜，而真空泵是真空鍍膜機中最重要的零部件，但真空泵常常會出現(xiàn)一些故障導致鍍膜設備沒法正常工作，存在一定的不足之處。
技術實現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的就在于提供一種真空鍍膜機真空泵的保養(yǎng)維護裝置。
本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的。真空鍍膜機真空泵的保養(yǎng)維護裝置，包括一個機體，在機體上設置溫度感應模塊、間隙感應模塊、傳輸模塊、管理模塊，溫度感應模塊感應真空鍍膜機電機的溫度以及被抽氣體的溫度情況，間隙感應模塊感應旋片與定子之間的間隙大小，感應到的信息通過傳輸模塊傳輸至管理模塊進行處理。
真空鍍膜機真空泵的保養(yǎng)維護裝置，在機體上設置運作感應模塊，感應真空鍍膜機真空泵有無冒煙或漏油現(xiàn)象。
真空鍍膜機真空泵的保養(yǎng)維護裝置，設置提示模塊，當真空鍍膜機電機溫度過高或運作異常時發(fā)出提示信息。
真空鍍膜機真空泵的保養(yǎng)維護裝置，提示信息的方式為聲音或LED燈光顯示。
真空鍍膜機真空泵的保養(yǎng)維護裝置，在機體上設置油量感應模塊，感應真空鍍膜機泵腔內(nèi)的油量情況。
上述真空鍍膜機真空泵的保養(yǎng)維護裝置，能夠防止真空鍍膜機真空泵出現(xiàn)冒煙和漏油現(xiàn)象，保證真空泵的真空度，更加有效的保障了真空鍍膜機的正常運行。
附圖說明
附圖為一種真空鍍膜機真空泵的保養(yǎng)維護裝置的結構示意圖。
圖中標號分別為：1-機體、2-溫度感應模塊、3-間隙感應模塊、4-傳輸模塊、5-管理模塊、6-運作感應模塊、7-提示模塊、8-油量感應模塊。
具體實施方式
實施例：如附圖所示。真空鍍膜機真空泵的保養(yǎng)維護裝置，包括一個機體(1)，在機體(1)上設置溫度感應模塊(2)、間隙感應模塊(3)、傳輸模塊(4)、管理模塊(5)，溫度感應模塊(2)感應真空鍍膜機電機的溫度以及被抽氣體的溫度情況，間隙感應模塊(3)感應旋片與定子之間的間隙大小，感應到的信息通過傳輸模塊(4)傳輸至管理模塊(5)進行處理。
真空鍍膜機真空泵的保養(yǎng)維護裝置，在機體(1)上設置運作感應模塊(6)，感應真空鍍膜機真空泵有無冒煙或漏油現(xiàn)象。
真空鍍膜機真空泵的保養(yǎng)維護裝置，設置提示模塊(7)，當真空鍍膜機電機溫度過高或運作異常時發(fā)出提示信息。
真空鍍膜機真空泵的保養(yǎng)維護裝置，提示信息的方式為聲音或LED燈光顯示。
真空鍍膜機真空泵的保養(yǎng)維護裝置，在機體(1)上設置油量感應模塊(8)，感應真空鍍膜機泵腔內(nèi)的油量情況。
上述真空鍍膜機真空泵的保養(yǎng)維護裝置，能夠防止真空鍍膜機真空泵出現(xiàn)冒煙和漏油現(xiàn)象，保證真空泵的真空度，更加有效的保障了真空鍍膜機的正常運行。
